乍一看光刻技術和蝕刻機很接近，可是光刻技術和蝕刻機卻不混為一談，由于刻蝕僅僅制造芯片其中之一的步驟而已。而刻蝕機只不過是眾多芯片制造設備其中之一。下邊在這里給大家聊一下蝕刻機。
蝕刻機和光刻技術其實也就是截然不同的二種機器設備，不論從作用或是在結構上而言都是天壤之別，光刻技術是芯片制造過程里為中心的機器設備，芯片制造是通過光刻技術所決定的，而非蝕刻機。
從原理來看光刻技術和蝕刻機。
如果將制造芯片比作建房子，那樣光刻技術的作用是把房子的結構標明在地板上。蝕刻機便是在光刻技術進行之后才登場的機器設備，都是光刻技術進行之后尤為重要的機器設備之一。蝕刻機主要的的作用是依照光刻技術早已標明好的線去做基礎建設，把沒有用的地區給清理掉，只留光刻技術環節中標明好一點的路線。
從在結構上看來光刻技術和蝕刻機。
光刻技術的重要的關鍵技術便是燈源和激光光路，其燈源和激光光路的重要構成部分有四個，燈源、曝出、檢驗、和其它高精密機械制造構成。對比下，蝕刻機的構造構成就需要簡單一些，通常是等離子頻射源、反映室和真氣體路等構成。